賽默飛分子泵操作須知

　　賽默飛分子泵是一種機械式真空泵，通過高速旋轉的多級渦輪轉子葉片和靜止葉片的組合進行抽氣的，在分子流區域內對被抽氣體產生很高的壓縮比，從而獲得所需要的真空性能。集兩種泵的優點于一體，能在很寬的壓力范圍10-6~1pa內，具有較大的抽速和較高的壓縮比，大大提高了泵的出口壓力。

　　分子泵內有多組相間動輪葉和定輪葉，每一個輪葉上有許多按一定角度斜置的葉片。實際的分子泵都是由多級葉列串聯組成，即按動片、定片、動片等依次交替排列。動葉片轉動時又類似于電風扇葉片的作用，能將氣體從一側抽到另一側。提高分子泵的轉速，有利于提高賽默飛分子泵的抽速。由于葉片轉速限制，如果氣體分子運動速度較大，泵抽真空就比較困難。

　　操作要求：

　　1、氣路接口的快接法蘭的螺桿應朝上，以防松弛造成漏氣；

　　2、不能在大氣狀態下開分子泵，必須在達到10Pa時才能打開其相應的高閥，開啟分子泵；

　　3、每次停機后，務必清潔各分子泵的進氣口處，使其保持干凈，以避免不必要的損壞；

　　4、當出現報警信息“EF”時，應檢查冷卻水路是否通暢。確保水路順暢后，方可再次打開分子泵。而當出現其他報警信號時，嚴禁再次啟動，待后處理；

　　5、在出現問題而不能使用時，應暫停生產，手動充大氣后，更換備用的；

　　6、當始終達不到啟動條件時，應檢查前級泵和電磁閥工作是否正常；

　　7、當出現故障時，須根據賽默飛分子泵故障提示作相應處理。